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微信扫一扫- 简介
- 目录
GB/T 29505-2013
1
前言
3
1 范围
4
2 规范性引用文件
4
3 术语和定义
4
4 方法提要
5
5 干扰因素
6
6 仪器设备
6
7 粗糙度测量步骤
8
8 报告
11
附录A(规范性附录)粗糙度测量规范和有关输出的例子
12
附录B(资料性附录)有关硅片粗糙度分布的试验和模型(源于SEMI M40附录)
14
参考文献
28
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