• GB/T 29505-2013
  • 前言
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 术语和定义
  • 4 方法提要
  • 5 干扰因素
  • 6 仪器设备
  • 7 粗糙度测量步骤
  • 8 报告
  • 附录A(规范性附录)粗糙度测量规范和有关输出的例子
  • 附录B(资料性附录)有关硅片粗糙度分布的试验和模型(源于SEMI M40附录)
  • 参考文献