3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表3.0.1 确定。

4.2.2 洁净广房的平面和空间设计，应满足生产工艺和空气洁净度等级要求，洁净区、人员净化、辅料净化和其它辅助用房应分区布置，同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统各种技术设施的综合协调。

4.2.1 洁净广房内应少设隔间，但在下列情况下应予分隔：

1 接生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，就有防火分隔要求者。

2 生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。

4.3.1 洁净厂房内应设置人员净化、辅料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其它用室。

4.3.2 人员净化用室和生活用室的设置应为：

1 人员净化用室，应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更洁净工作服等房间。

4.3.3 人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：

1 人员净化用室的入口处，应设净鞋措施。

2 存外衣和更洁净工作服应分别设置。

4 盥洗室应设洗手和烘干设施。

5 空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并应与洁净工作服更衣室相邻，单人空气吹淋室按最大班人数每10 人设一台，洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。

4.3.4 人流路线应符合下列要求：

1 人流路线应避免往复交叉.

4.3.7 洁净室内设备和辅料出入口，应根据设备和辅料的性质、形状等特征设置辅料净化用室及其设施。辅料净化用室的布置，应防止净化后辅料在传遥远程中被污染。

4.4.1 洁净室内的噪声级(空态)，非单向流洁净室不应大于60dB(A) ，单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)。

4.4.3 洁净厂房的平、剖面设计应考虑噪声控制要求，洁净室的维护结构应具有良好的隔声性能，并使各部分隔声量相接近。

4.4.4 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品，对于辐射噪声值超远洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。

4.5.1 对有徽摄振控制要求的洁净厂房设计时应考虑：

1 在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面及顶棚连接处，应按微振控制要求设计。

2 洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及其连接管道，应采取主动隔振措施。

3 应确定洁净厂房内外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处的综合震动影响，以决定是否采取被动隔振措施。

5.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级.

5.2.2 洁净厂房内生产工作间的火灾危险性，应按照现行国家标准《建筑设计防火规范)(GBJ16)的分类，洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例见附录A。

5.2.3 甲、乙类生产前洁净广房宜为单层，其防火分区最大允许建筑面积，单层厂房宜为3000m² ，多层厂房宜为2000㎡.。丙、丁、戊类生产的洁净厂房其防火分区最大允许建筑面积应符合现行国家标准《建筑设计防火规范)(GBJ 18) 的规定。

5.2.4 洁净室的顶棚和壁板(包括夹芯材料)应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料，顶棚的耐火极限不应低于0.4h，疏散是道顶棚的耐火极限不应低1.0h。

5.2.5 在一个防火分区内的综合性厂房，其洁净生产与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施。隔墙及其相应顶棚的耐火极限不应低于1h，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.8h， 穿隔墙或顶棚的管线周围空隙应采用防火球耐火材料紧密填堵。

5.2.6 技术竖井井壁应为不燃烧体，其耐火极限不应低于1h。井壁上检查门的耐火极限不应低于0.6h，竖井内在各层或间隔层楼板处，应采用相当于楼板耐火极限的不燃烧体作水平防火分隔， 穿边水平防火分隔的管线周围空隙，应来用防火或耐火材料紧密填堵。

5.2.7 洁净广房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出口数目不应少于2个，但符合下列要求的可设1个：

1 对甲、乙 类生产广房每层的洁净区总建筑面积不超过50m² ，且同一时间内的生产人数不超过5 人。

2 对丙、丁、戊类生产广房，应按现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ16)的规定设置。

5.2.8 安全出口应当分散布置，从生产地点至安全出口不应经过曲折的人员净化路钱，并应设有明显的疏散标志，安全疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范)(GBJ16) 的规定。

5.2.9 洁净区与非洁净区、洁净区与重外相通的安金疏散门应向疏散方向开启，并加闭门器。安全疏散门不应采用吊门、转门、侧拉门、卷帘门以及电控自动门。

5.2.10 洁净广房与洁净区同层外培应设可供消防人员通往广房洁净区的门窗，其洞口间距大于10m 时，应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。专用消防口的宽庭应不小于750mm，高度应不小于1800mm ，并应有明显标志，楼层的专用消防口应设置阳台，并从二层开始向上层架设钢梯。

5.2.11 洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及宽度小于750mm、高度小于1800mm或装有栅柱的窗，均不应作为火灾发生时提供消防人员进入厂房的入口。

5.3.1 洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿应变化时变形小的材料。

5.3..2 洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求：

1 洁净室内墙壁和顶棚的表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于除尘，井应减少凹凸面。

2 踢脚不应突出墙面。

5.3.3 洁净室地面设计应符合下列要求：

1 洁净室地面应满足生产工艺要求。

2 洁净室地面应平整，耐磨、易清洗，不易积聚静电，避免眩光，不开裂等。

5.3.5 洁净室(区)外窗设计应符合下别要求:

1 当洁净室(区)和人员净化用室设置外窗时，应采用双层玻璃固定窗，井应有良好的气密性.

5.3.7 洁净室门窗、墙壁、顶棚等的设计应符合下列要求：

1 洁净室门窗、墙壁、顶棚、地(楼)面的构造和施工缝隙，均应果取可靠的密闭措施。

5.3.10 设计选用的装修材料的燃烧性能必须符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范)(GB 50222) 的规定。

6. 1.4 洁净室的温、湿度范围应符合表6.1.4 的规定.

6.1.5 洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：

1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。

2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于4Om³。

6.2.1 洁净室与周围的室间必须维持一定的压差，并应按生产工艺要求决定维持正压差或负压差.。

6.2.2 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于5Pa，洁净区与室外的压差，应不小于10Pa。

6.2.4 送风、回风和排风系统的启闭应联锁，正压洁净室联锁程序为先启动送风机，再扇动回风机和排风机， 关闭时联锁程序应相反。

负压洁净室联锁程序与上述正压洁净室相反。

6.3.1 气流流型的设计，应符合下列要求：

1 气流流型应满足空气洁净度等级的要求，空气洁净度等级要求为1~4级时，应来用垂直单向流， 空气洁净庭要求为5 级时，应采用垂直单向流或水平单向流。洁净室工作区的气流分布应均匀。

4 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺要求。

6.3.2 洁净室的送风量，应取下列三项中的最大值：

1 为保证空气洁净度等级的送风量，

2 根据热、温负荷计算确定的送风量。。

3 向洁净室内供给的新鲜空气量.

6.3.3 为保证空气洁净度等级的送风量，按表6.3.3中有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算。

6.4.1 空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列要求：

1 空气净化处理应根据空气洁净度等级合理应用空气过滤器。

2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。

3 中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。

4 亚高效和高效过滤器作为末端过法器时宜设置在净化空调系统的末端，超高效过法器必须设置在净化空调系统的末端。

6.5.1 对8 级以上的洁净室不应采用散热器采暖。

6.5.2 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置。

6.5.3 在下列情况下，局部排风系统应单独设置：

1 排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交叉污染。

2 排风介质中有毒与无毒，毒性相差很大。

3 易燃、易爆与一般排风。

6.5.4 洁净室的排风系统设计，应采取下列措施：

1 防止室外气流倒灌。

2 含有易燃、易爆局部排风系统的防火防爆。

3 排风介质是中有害物浓度及排放量超过国家或地区有害物排就浓度及排放量规定时，应进行无害化处理。

4 对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，应设坡度及排放口。

6.5.5 换鞋、存外衣、盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间，应采取通风措施，其室内的静压值，应低于洁净区。

6.5.8 根据生产工艺要求设置事故排风系统，事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。

6.5.7 洁净厂房疏散走廊，应设置机械防排烟设施，洁净室机械防排烟系统宜与通风、净化空调系统合用，但必须采取可靠的防火安全措施，并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范)(GBJ 18)的要求。

6.6.2 下列情况之一的通风、净化空调系统的风管应设防火阀：

1 风管穿越防火分区的隔墙处，穿越变形缝的防火墙的两侧。

2 风管穿越通风、空气调节机房的隔墙和楼板处，垂直风管与每层水平风管交接的水平管段上。

6.6.4 净化空调系统的送、回风总管及排风系统的眼风总管段上，应来取消声措施，满足洁净室内噪声要求，净化空调系统的排风管或局部排风系统的排风管段上，应来取消声措施，满足室外环境区域噪声标准的要求.

6.6.6 风管、附件及辅助材料的选择应符合下列要求：

1 净化空调系统、排风系统的风管应采用不燃材料。

2 排除腐蚀性气体的风管，应采用耐腐蚀的难燃材料。

2 排烟系统的风管应采用不燃材料，其耐火极限应大于0..5h。

4 附件、保温材料、消声材料和粘结剂等均采用不燃材料或难燃材料。

7.2.2 水质要求较高的纯水供水管管应采用循环供水方式，并应符合节列规定：

1 循环附加水量为使用水量的30%~100%.

2 干管流速为1.5~3m/s。

3 不循环的支管长度应尽量短，其长度不大于8 倍管径。

4 供水干管上应设有清洗口。

5 管道系统备组成部分必须密封，不得有潜气现象。

7.3.1 排水系统应根据工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等特点确定，有害废水经废水处理，达到国家排放标准后排出。

7.3.2 洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透气装置。

7.3.3 洁净室内的地调等排水设施的设置应符合下列要求：

1 空气洁净度等级高于8 级的洁净室内不应设地漏.

4 等于或高于7 级的洁净室内不应穿过排水立管，其它洁净室内穿过排水立管时不应设检查口。

7.4.1 洁净厂房必须设置消防给水系统，其设计应根据生产的火灾危险性、建筑物耐火等级以及建筑物的体积等因素确定。

7.4.2 洁净厂房的消防给水和固定灭火设备的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范)(GBJ 18) 的要求.

7.4.3 洁净室的生产层及上下技术夹层(不舍不通行的技术夹层)，应设置室内消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s ，同时使用水枪数不少于2 支，木枪充实木柱长度不小于10m ，每只水枪的出水量应按不小于5L/s 计算。

7.4.4 洁净厂房内各场所必须配置灭火器，其设计应满足现行国家标准《建筑灭火器配置规范)(GBJ 140) 的要求。

7.4.5 洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置固定灭火设施时，除应符合现行国家标准《建筑设计防火规范)(GBJ 11) 的规定外，还应符合下列要求：

2 当设置气体灭火系统时，不应采用卤代烷1211 以及能导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂。

8.1.1 气体管道的干管，应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时，应设在其上部。与本房间无关的管道不应穿过。

8.1.3 高纯气体管道设计应符合下列要求：

1 按气体流量、压力就生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于φ6*1mm。。

2 管道系统应尽量短。

3 不应出现不易吹除的"盲管'等死角。

4 管道系统应设必要的吹除口和取样口。

8.1.5 可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管，放散管印至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施，可燃气体还应符合本规范第8.4.2 条的要求。

8.1.9 甲类火灾危险生产用气体入口室的设置，应符合下列规定：

2 应有良好的通风；

3 油压面积和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范)(GBJ16) 、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》(GB50058)的规定执行。

8.4.1 下列部位应设可煤气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机联锁：

1 用类火灾危险生产的气体入口室.

2 管廊，上、下技术夹层或技术夹道内有可燃气体管道的易积聚处，洁净室内使用可燃气体处。

8.4.2 可燃气体管遭应设下列安全技术措施：

1 接至用气设备的支售和放徽管，应设置阻火器-；

2 引至室外的放散管，应设防雷保护设施；

3 应设导除静电的接地设施。

8.4.1 氧气管道应设下列安全技术措施：

1 管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理。

2 应设导除静电的接地设施。

8.4.4 气体管道应按不同介质设明显的标识。

8.4.5 各种气报库应集中设置在洁净广房外。当目用气量不超过1 瓶肘，气瓶可设置在洁净室内，但必须采取不积尘和易于清洁的措施。

9.2.2 洁净室内一般照明灯具为吸顶明装。如灯具嵌入顶棚暗装肘，其安装缝隙应有可靠的密封措施，洁净室内不应果用格栅型灯具。

9.2.3无采光窗洁净区工作面上的照应值，不应低于表8.2.3 规定的搬值.

9.2.6 洁净厂房备用照明的设置应符合下列要求：

1 洁净厂房内应设置备用照明；

9.2.7 洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道转角处应按现行国家标准设置疏散标志。在专用消防口处应设置红色应急照明灯。

9.3.3 洁净厂房的生产区(包括技术夹层)、机房、站房等均应设置火灾探测器。洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。

9.3.4 洁净厂房应设置消防值班室或控制室，其他置不应设在洁净区内。消防控制室应设置消防专用电话总机。

9.3.5 洁净厂房的消防控制设备及线路连接应可靠，控制设备的控制及显示功能，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ16)及《火灾自动报警系统设针规范)(GB50111)的规定，洁净区内火灾报警应进行核实，并应进行如下消防联动控制：

1 启动室内消防水泵，接收其反馈信号，除自动控制外，还应在消防控制室设置手动直接控制装置；

2 关闭有关部位的电动防火阀，停止相应的空调循环风机、排风机及新风机，并接收其反馈信号；

3 关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门；

4 控制备用应急照明灯和疏散标志灯燃亮；

5 在消防控制室或低压配电室，应手动切断有关部位的非消防电源；

6 启动火灾应急扩音机，进行人工或自动播音；

7 控制电梯降至首层，并接收其反馈信号。

9.3.6 洁净广房中易燃、易爆气体的贮存、使用场所，管道入口室及管道阀门等易泄漏的地方，应设可煤气体探测器。有毒气体的贮存、使用场所应设气体检测器。报警信号应联动启动就手动启动相应的事故排风机，并应将报警信号送至消防控制室。

9.4.1 洁净厂房应设置净化空调系统等的自动监控装置。

9.4.3 净化空调系统电加热器，应设置无风、超温断电保护，若采用电加温器时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。

9.5.2 洁净室内的防静电地面，其性能应符合下列要求：

1 地面的面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定；

2 地面的表层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1.0X 106^5 ~1.0 X 10^12 Ω/口或体积电阻率为1.0X 10^4 ~1.0 X 10^11Ω.cm

3 地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0X 10^5~ 1.0 X 10^9Ω。

9.5.3 洁净室的净化空调系统，应采取防静电接地措施。

9.5.4 洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范)(GB 50051) 的有关规定。

9.5.5 防静电接地系统，应分别不同要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网格，就闭合的撞地铜排环。铜排截面不应小于100mm² ，防静电接地引线应从等电位的接地网格或闭合铜排环上就近撞地连接.接地引线应使用多股铜钱，导线截面不应小于1.5mm²。防静电撞地系统在接入大地前应设置等电位的防静电接地基准板，从基准报上引出接地主干线，其铜导体戴面不应小于95mm²，并应采用绝缘屏蔽电缆。接地主干线应与设置在防静电区域内的接地网格或闭合铜排环连接，在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0.1Ω。

9.5.6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则，其中直流撞地系统不能与交流撞地系统混接.直流工作接地的撞地干线应单独绝缘敷设，并应使用绝缘屏蔽电缆。直流工作接地的基准电位应取自总等位铜排，接地导线与铜排做单点连接。主干线截面不应小于95smm²，支干线截面不应小35mm²

9.5.7 接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω；选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m 以上的间距。洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑斗'防雷设计规范》(GB 50057) 的规定。