• 1 总 则
  • 2 术语
  • 3 空气洁净度等级
  • 4 总体设计
  • 4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置
  • 4.2 工艺平面布置和设计综合协调
  • 4.3 人员净化和物料净化
  • 4.4 噪声控制
  • 4.5 微振控制
  • 5 建 筑
  • 5.1 一般规定
  • 5.2 防火和疏散
  • 5.3 室内装修
  • 6 空气净化
  • 6.1 一般规定
  • 6.2 洁净室压差控制
  • 6.3 气流流型和送风量
  • 6.4 空气净化处理
  • 6.5 采暖通风、防排烟
  • 6.6 风管和附件
  • 7 给水排水
  • 7.1 一般规定
  • 7.2 给水
  • 7.3 排水
  • 7.4 消防给水和灭火设备
  • 8 工业管道
  • 8.1 一般规定
  • 8.2 管道材料和阀门
  • 8.3 管道连接
  • 8.4 安全技术
  • 9 电气
  • 9.1 配电
  • 9.2 照明
  • 9.3 通信
  • 9.4 自动控制
  • 9.5 静电防护及接地
  • 附录A 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例
  • 附录B 净化空调系统设计对维护管理的要求
  • 附录C 洁净室或洁净区性能测试和认证
  • 本规范用词说明