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GB/T41072-2021
1
1 范围
5
2 规范性引用文件
5
3 术语和定义
5
4 符号和缩略语
5
5 概述
6
5.1 能级关系
6
5.2 仪器结构
6
5.3 测试过程
7
6 样品准备
9
6.1 概述
9
6.2 材料类型
9
6.3 样品形态
10
6.4 样品安装
10
6.5 样品处理
11
7 仪器校准
11
7.1 概述
11
7.2 仪器检查
11
7.3 仪器能量标校准
12
7.4 仪器设定
12
8 样品荷电评估
13
8.1 采集C1s的XPS谱
13
8.2 荷电评估
13
9 全扫描与窄扫描
13
9.1 概述
13
9.2 数据采集
13
9.3 数据分析
14
10 测试报告
16
附录A（资料性） Au参考物质面扫描离子束刻蚀示例
18
附录B（资料性） 不同激发光源下的UV光子能量
19
参考文献
20
图书评论
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