GB/T41072-2021
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 符号和缩略语
5 概述
5.1 能级关系
5.2 仪器结构
5.3 测试过程
6 样品准备
6.1 概述
6.2 材料类型
6.3 样品形态
6.4 样品安装
6.5 样品处理
7 仪器校准
7.1 概述
7.2 仪器检查
7.3 仪器能量标校准
7.4 仪器设定
8 样品荷电评估
8.1 采集C1s的XPS谱
8.2 荷电评估
9 全扫描与窄扫描
9.1 概述
9.2 数据采集
9.3 数据分析
10 测试报告
附录A（资料性） Au参考物质面扫描离子束刻蚀示例
附录B（资料性） 不同激发光源下的UV光子能量
参考文献
