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GB/T41064-2021：表面化学分析深度剖析用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法现行

资源类型：国家标准
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
废止日期：-
入库日期：2022-02-17
主编单位：清华大学 中国石油大学（北京）
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  • 简介
  • 目录
  • 强制性条文
  • 产品信息
  • 变更信息
GB/T41064-2021 
1 
1 范围 
5 
2 规范性引用文件 
5 
3 术语和定义 
5 
4 单层和多层薄膜参考物质的要求 
5 
5 溅射速率的确定 
6 
附录A（资料性） 国际比对实验报告 
9 
附录B（资料性） 通过溅射产额列表值估算其他材料的溅射速率 
15 
参考文献 
16 

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