• GB/T41064-2021
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 术语和定义
  • 4 单层和多层薄膜参考物质的要求
  • 5 溅射速率的确定
  • 附录A（资料性） 国际比对实验报告
  • 附录B（资料性） 通过溅射产额列表值估算其他材料的溅射速率
  • 参考文献