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GB/T28632-2012
1
1 范围
4
2 规范性引用文件
4
3 术语、定义、符号和缩略语
4
4 一般信息
5
5 直边法测量横向分辨率
6
6 栅格法测量横向分辨率
11
7 金岛法测量横向分辨率
13
附录A (资料性附录)带聚焦X射线束斑的XPS仪器横向分辨率测定
17
附录B (资料性附录)二次电子线扫描谱横向分辨率测定
19
附录C (资料性附录)俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定
20
参考文献
22
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