• GB/T28632-2012
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 术语、定义、符号和缩略语
  • 4 一般信息
  • 5 直边法测量横向分辨率
  • 6 栅格法测量横向分辨率
  • 7 金岛法测量横向分辨率
  • 附录A (资料性附录)带聚焦X射线束斑的XPS仪器横向分辨率测定
  • 附录B (资料性附录)二次电子线扫描谱横向分辨率测定
  • 附录C (资料性附录)俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定
  • 参考文献