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GB/T34326-2017：表面化学分析深度剖析AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法现行

资源类型：国家标准
发布日期：2017-09-29
实施日期：2018-08-01
废止日期：-
入库日期：2021-09-15
主编单位：
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  • 简介
  • 目录
  • 强制性条文
  • 产品信息
  • 变更信息
GB/T34326-2017 
1 
1 范围 
5 
2 规范性引用文件 
5 
3 术语、定义、符号和缩略语 
5 
4 系统要求 
6 
5 离子束对准方法 
7 
6 何时进行离子束对准及其检查 
14 
附录A (资料性附录) 离子束对准优劣情况下AES深度剖析谱图对比 
15 
附录B (资料性附录) 使用同轴电极杯对准 
16 
参考文献 
18 

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