• GB/T34326-2017
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 术语、定义、符号和缩略语
  • 4 系统要求
  • 5 离子束对准方法
  • 6 何时进行离子束对准及其检查
  • 附录A (资料性附录) 离子束对准优劣情况下AES深度剖析谱图对比
  • 附录B (资料性附录) 使用同轴电极杯对准
  • 参考文献