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GB/T32999-2016：表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率现行

资源类型：国家标准
发布日期：2016-10-13
实施日期：2017-09-01
废止日期：-
入库日期：2021-09-15
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GB/T32999-2016 
1 
1 范围 
5 
2 术语和定义 
5 
3 符号和缩略语 
5 
4 原理 
6 
5 方法 
6 
5.1 获取栅网复型图形 
6 
5.2 用轮廓仪测量溅射坑深度 
11 
5.3 计算溅射速率 
13 
6 实验室间联合比对结果总结 
13 
附录A（资料性附录）试样表面和离子枪的几何结构配置 
14 
附录B（资料性附录）栅网复型图形与网孔尺寸的关系 
17 
参考文献 
20 

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