• GB/T32999-2016
  • 1 范围
  • 2 术语和定义
  • 3 符号和缩略语
  • 4 原理
  • 5 方法
  • 5.1 获取栅网复型图形
  • 5.2 用轮廓仪测量溅射坑深度
  • 5.3 计算溅射速率
  • 6 实验室间联合比对结果总结
  • 附录A（资料性附录）试样表面和离子枪的几何结构配置
  • 附录B（资料性附录）栅网复型图形与网孔尺寸的关系
  • 参考文献