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GB-T33838-2017
1
1 范围
4
2 规范性引用文件
4
3 术语和定义
4
4 获取SEM图像的步骤
5
4.1 概述
5
4.2 试样
5
4.3 试样倾斜
5
4.4 视场选择
5
4.5 像素大小选择
6
4.6 图像亮度和衬度
7
4.7 图像衬噪比
7
4.8 图像聚焦和像散
9
4.9 外部因素干扰
9
4.10 错误衬度
9
4.11 SEM图像数据文件
9
5 SEM图像获取及图像区域选择
9
6 评估方法
9
6.1 概述
9
6.2 衬噪比
10
6.3 傅立叶变换(FT)法
10
6.4 衬度-梯度(CG)法
13
6.5 导数(DR)法
15
7 测试报告
17
7.1 概述
17
7.2 测试报告内容
17
附录A（规范性附录）衬噪比(CNR)细节
18
附录B（规范性附录）傅立叶变换(FT)法细节
22
附录C（规范性附录）衬度-梯度(CG)法细节
35
附录D（规范性附录）导数(DR)法细节
45
附录E（资料性附录）评估图像锐度的背景
62
附录F（资料性附录）各种评估方法的特征和适用性
66
附录G（资料性附录）用于评估图像锐度的试样的制备方法
69
附录H（资料性附录）测试报告示例
71
参考文献
73
图书评论
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