• GB-T33838-2017
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 术语和定义
  • 4 获取SEM图像的步骤
  • 4.1 概述
  • 4.2 试样
  • 4.3 试样倾斜
  • 4.4 视场选择
  • 4.5 像素大小选择
  • 4.6 图像亮度和衬度
  • 4.7 图像衬噪比
  • 4.8 图像聚焦和像散
  • 4.9 外部因素干扰
  • 4.10 错误衬度
  • 4.11 SEM图像数据文件
  • 5 SEM图像获取及图像区域选择
  • 6 评估方法
  • 6.1 概述
  • 6.2 衬噪比
  • 6.3 傅立叶变换(FT)法
  • 6.4 衬度-梯度(CG)法
  • 6.5 导数(DR)法
  • 7 测试报告
  • 7.1 概述
  • 7.2 测试报告内容
  • 附录A（规范性附录）衬噪比(CNR)细节
  • 附录B（规范性附录）傅立叶变换(FT)法细节
  • 附录C（规范性附录）衬度-梯度(CG)法细节
  • 附录D（规范性附录）导数(DR)法细节
  • 附录E（资料性附录）评估图像锐度的背景
  • 附录F（资料性附录）各种评估方法的特征和适用性
  • 附录G（资料性附录）用于评估图像锐度的试样的制备方法
  • 附录H（资料性附录）测试报告示例
  • 参考文献