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微信扫一扫- 简介
- 目录
GB-T32495-2016
1
1 范围
5
2 规范性引用文件
5
3 术语和定义
5
4 符号和缩略语
5
5 原理
6
6 参考物质
6
6.1 用于校准相对灵敏度因子的参考物质
6
6.2 用于校准深度的参考物质
6
7 仪器
6
7.1 二次离子质谱仪
6
7.2 触针式轮廓仪
6
7.3 光学干涉仪
6
8 样品
6
9 步骤
6
9.1 二次离子质谱仪的调整
6
9.2 优化二次离子质谱仪的设定
7
9.3 进样
7
9.4 被测离子
7
9.5 样品检测
8
9.6 校准
8
10 结果表述
9
11 测试报告
9
附录A (资料性附录)硅中砷深度剖析巡回测试报告
10
附录B (资料性附录)NIST SRM 2134深度剖析步骤
13
参考文献
14
图书评论
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