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微信扫一扫- 简介
- 目录
GB/T36053-2018
1
1 范围
5
2 术语、定义、符号和缩略语
5
2 1 术语和定义
5
2 2 符号和缩略语
7
3 仪器要求、准直和定位指南
8
3.1 扫描方法的仪器要求
8
3.2 仪器准直
11
3.3 样品准直
12
4 数据采集和存储
13
4.1 概述
13
4.2 数据扫描参数
13
4.3 动态范围
14
4.4 步长(峰定义)
14
4.5 采集时间(累计计数)
14
4.6 分段数据采集
14
4.7 降低噪声
14
4.8 探测器
15
4.9 环境
15
4.10 数据存储
15
5 数据分析
15
5.1 初步数据处理
15
5.2 样品建模
16
5.3 XRR数据模拟
17
5.4 一般举例
18
5.5 数据拟合
21
6 XRR分析报告中的必要信息
22
6.1 概述
22
6.2 实验细节
22
6.3 分析(模拟和拟合)程序
22
6.4 报告XRR曲线的方法
23
附录A (资料性附录) 氮氧化硅晶圆测量报告示例
26
参考文献
30
图书评论
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