• GB/T36053-2018
  • 1 范围
  • 2 术语、定义、符号和缩略语
  • 2 1 术语和定义
  • 2 2 符号和缩略语
  • 3 仪器要求、准直和定位指南
  • 3.1 扫描方法的仪器要求
  • 3.2 仪器准直
  • 3.3 样品准直
  • 4 数据采集和存储
  • 4.1 概述
  • 4.2 数据扫描参数
  • 4.3 动态范围
  • 4.4 步长(峰定义)
  • 4.5 采集时间(累计计数)
  • 4.6 分段数据采集
  • 4.7 降低噪声
  • 4.8 探测器
  • 4.9 环境
  • 4.10 数据存储
  • 5 数据分析
  • 5.1 初步数据处理
  • 5.2 样品建模
  • 5.3 XRR数据模拟
  • 5.4 一般举例
  • 5.5 数据拟合
  • 6 XRR分析报告中的必要信息
  • 6.1 概述
  • 6.2 实验细节
  • 6.3 分析(模拟和拟合)程序
  • 6.4 报告XRR曲线的方法
  • 附录A (资料性附录) 氮氧化硅晶圆测量报告示例
  • 参考文献