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GB/T36401-2018
1
1 范围
5
2 规范性引用文件
5
3 术语和定义
5
4 缩略语
5
5 XPS薄膜分析综述
5
5.1 引言
5
5.2 常规XPS
6
5.3 变角XPS
7
5.4 峰形分析
7
5.5 可变光子能量XPS
7
5.6 溅射深度剖析XPS
7
6 样品处理
7
7 仪器和操作条件
7
7.1 仪器校准
7
7.2 操作条件
8
8 XPS方法、实验条件、分析参数和分析结果的报告
8
8.1 XPS薄膜分析方法
8
8.2 实验条件
8
8.3 分析参数
9
8.4 汇总表示例
9
8.5 分析结果
12
附录A (资料性附录) 常规XPS
13
附录B (资料性附录) 变角XPS
19
附录C (资料性附录) 峰形分析
24
附录D (资料性附录) 溅射深度剖析XPS
34
参考文献
36
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