• GB/T36401-2018
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 术语和定义
  • 4 缩略语
  • 5 XPS薄膜分析综述
  • 5.1 引言
  • 5.2 常规XPS
  • 5.3 变角XPS
  • 5.4 峰形分析
  • 5.5 可变光子能量XPS
  • 5.6 溅射深度剖析XPS
  • 6 样品处理
  • 7 仪器和操作条件
  • 7.1 仪器校准
  • 7.2 操作条件
  • 8 XPS方法、实验条件、分析参数和分析结果的报告
  • 8.1 XPS薄膜分析方法
  • 8.2 实验条件
  • 8.3 分析参数
  • 8.4 汇总表示例
  • 8.5 分析结果
  • 附录A (资料性附录) 常规XPS
  • 附录B (资料性附录) 变角XPS
  • 附录C (资料性附录) 峰形分析
  • 附录D (资料性附录) 溅射深度剖析XPS
  • 参考文献