QQ好友
新浪微博
微信扫一扫- 简介
- 目录
GB/T40109-2021
1
1 范围
5
2 规范性引用文件
5
3 符号和缩略语
5
4 原理
6
5 参考物质
6
5.1 用于校准相对灵敏度因子的参考物质
6
5.2 用于校准深度的参考物质
6
6 仪器
6
6.1 二次离子质谱仪
6
6.2 触针式轮廓仪
6
6.3 光学干涉仪
6
7 样品
6
8 步骤
6
8.1 二次离子质谱仪的调整
6
8.2 优化二次离子质谱仪的设定
7
8.3 进样
7
8.4 检测离子
7
8.5 样品检测
7
8.6 校准
8
9 结果表述
9
10 测试报告
9
附录A（资料性） 针式表面轮廓仪测试统计报告
10
参考文献
12
图书评论
暂无相关数据
我也要评论