• GB/T40109-2021
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 符号和缩略语
  • 4 原理
  • 5 参考物质
  • 5.1 用于校准相对灵敏度因子的参考物质
  • 5.2 用于校准深度的参考物质
  • 6 仪器
  • 6.1 二次离子质谱仪
  • 6.2 触针式轮廓仪
  • 6.3 光学干涉仪
  • 7 样品
  • 8 步骤
  • 8.1 二次离子质谱仪的调整
  • 8.2 优化二次离子质谱仪的设定
  • 8.3 进样
  • 8.4 检测离子
  • 8.5 样品检测
  • 8.6 校准
  • 9 结果表述
  • 10 测试报告
  • 附录A（资料性） 针式表面轮廓仪测试统计报告
  • 参考文献