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GB/T40291-2021
1
1 范围
5
2 规范性引用文件
5
3 术语、定义和符号
5
3.1 术语和定义
5
3.2 符号、缩略语、量和单位
6
3.3 量和单位
8
4 电活性杂质净浓度（NA—ND）测量
8
4.1 范德堡法的样品制备
8
4.2 测量电活性杂质净浓度（NA—ND）
10
5 深能级瞬态谱技术测定杂质中心浓度
15
5.1 概述
15
5.2 深能级瞬态谱设备
15
5.3 深能级瞬态谱的样品选择和准备
15
5.4 杂质中心浓度的测定方法
16
5.5 p型高纯锗多数载流子深能级
19
5.6 n型高纯锗多数载流子深能级
20
5.7 报告
20
6 晶体学特性
20
6.1 概述
20
6.2 晶向
21
6.3 样品制备
21
6.4 报告
22
附录A（资料性） p型和n型高纯锗的霍尔因子
23
附录B（规范性） 对应RAB.CD/RHC.DA的F(RAB.CD/RBC.DA)值
24
参考文献
25
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