• GB/T40291-2021
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 术语、定义和符号
  • 3.1 术语和定义
  • 3.2 符号、缩略语、量和单位
  • 3.3 量和单位
  • 4 电活性杂质净浓度（NA—ND）测量
  • 4.1 范德堡法的样品制备
  • 4.2 测量电活性杂质净浓度（NA—ND）
  • 5 深能级瞬态谱技术测定杂质中心浓度
  • 5.1 概述
  • 5.2 深能级瞬态谱设备
  • 5.3 深能级瞬态谱的样品选择和准备
  • 5.4 杂质中心浓度的测定方法
  • 5.5 p型高纯锗多数载流子深能级
  • 5.6 n型高纯锗多数载流子深能级
  • 5.7 报告
  • 6 晶体学特性
  • 6.1 概述
  • 6.2 晶向
  • 6.3 样品制备
  • 6.4 报告
  • 附录A（资料性） p型和n型高纯锗的霍尔因子
  • 附录B（规范性） 对应RAB.CD/RHC.DA的F(RAB.CD/RBC.DA)值
  • 参考文献