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- 目录
GBT19921-2018
1
1 范围
5
2 规范性引用文件
5
3 术语和定义
5
4 方法提要
8
5 干扰因素
9
6 设备
11
7 测试环境
11
8 参考样片
12
9 校准
12
10 测试步骤
13
11 精密度
13
12 试验报告
13
附录A（规范性附录） 针对130nm～11nm线宽技术用硅片的扫描表面检查系统的要求指南
15
附录B（规范性附录） 测定扫描表面检查系统XY坐标不确定性的方法
22
附录C（规范性附录） 采用覆盖法确定扫描表面检查系统俘获率和虚假计数率的测试方法
24
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