• GBT19921-2018
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 术语和定义
  • 4 方法提要
  • 5 干扰因素
  • 6 设备
  • 7 测试环境
  • 8 参考样片
  • 9 校准
  • 10 测试步骤
  • 11 精密度
  • 12 试验报告
  • 附录A（规范性附录） 针对130nm～11nm线宽技术用硅片的扫描表面检查系统的要求指南
  • 附录B（规范性附录） 测定扫描表面检查系统XY坐标不确定性的方法
  • 附录C（规范性附录） 采用覆盖法确定扫描表面检查系统俘获率和虚假计数率的测试方法