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YBT4475-2015
1
前言
3
1 范围
4
2 规范性引用文件
4
3 原理
4
4 仪器及设备
4
4.1 总则
4
4.2 特征谱线的选择
5
4.3 辉光光谱仪的优化
5
4.4 设置直流辉光放电参数
5
4.5 设置射频辉光放电参数
6
4.6 设置检测器的高压
7
4.7 调整放电参数
7
4.8 优化溅射坑的形状
7
5 制样
7
6 分析步骤
7
6.1 预分析
7
6.2 校准
7
6.3 校准曲线的验证
10
6.4 验证和漂移修正
10
6.5 分析试样
11
7 结果表示
11
7.1 定量深度分析
11
7.2 测定单位面积的整个镀层质量
11
7.3 平均质量分数的测定
11
8 精度
12
9 试验报告
12
附录A（规范性附录）计算校准常数和定量评估深度谱图
13
附录B（规范性附录）仪器最低性能要求
18
附录C（规范性附录）确定单位面积质量
20
附录D（资料性附录）各元素推荐谱线
24
附录E（资料性附录）实验室间试验数据
25
附录F（资料性附录）本标准与国家标准的对应关系
27
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