• YBT4475-2015
  • 前言
  • 1 范围
  • 2 规范性引用文件
  • 3 原理
  • 4 仪器及设备
  • 4.1 总则
  • 4.2 特征谱线的选择
  • 4.3 辉光光谱仪的优化
  • 4.4 设置直流辉光放电参数
  • 4.5 设置射频辉光放电参数
  • 4.6 设置检测器的高压
  • 4.7 调整放电参数
  • 4.8 优化溅射坑的形状
  • 5 制样
  • 6 分析步骤
  • 6.1 预分析
  • 6.2 校准
  • 6.3 校准曲线的验证
  • 6.4 验证和漂移修正
  • 6.5 分析试样
  • 7 结果表示
  • 7.1 定量深度分析
  • 7.2 测定单位面积的整个镀层质量
  • 7.3 平均质量分数的测定
  • 8 精度
  • 9 试验报告
  • 附录A（规范性附录）计算校准常数和定量评估深度谱图
  • 附录B（规范性附录）仪器最低性能要求
  • 附录C（规范性附录）确定单位面积质量
  • 附录D（资料性附录）各元素推荐谱线
  • 附录E（资料性附录）实验室间试验数据
  • 附录F（资料性附录）本标准与国家标准的对应关系