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GBT30110-2013
1
前言
3
1 范围
4
2 规范性引用文件
4
3 术语和定义
4
4 符号和说明
6
5 材料参数测试方法
7
5.1 组分与厚度测试
7
5.2 表面晶向测试
11
5.3 晶格常数测试
12
5.4 表面平整度测试
13
5.5 表面粗糙度测试
15
5.6 材料电学参数测试
16
5.7 少数载流子寿命测试
19
5.8 位错密度测试
21
5.9 表面缺陷密度测试
23
5.10 X射线双晶衍射半峰宽测试
23
5.11 X射线形貌测试
25
5.12 材料性能非均匀性测试
26
6 空间环境下材料抗辐照性能测试方法
27
6.1 试验条件
27
6.2 材料抗辐照性能參数测试
27
7 材料参数的精密度、精确度和不确定度测试方法
27
8 测试设备要求
27
附录A（规范性附录）材料的光学常数
28
附录B（规范性附录）纵向组分梯度分布的碲镉汞外延材料透过率Ta+和反射率Ra-的计算
29
附录C（资料性附录）激光干涉仪原理
32
附录D（资料性附录）位错密度测量值的标准均方差与腐蚀坑计数平均值的关系
33
参考文献
34
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