GB51343-2018:真空电子器件生产线设备安装技术标准现行
资源类型:国家标准
发布日期:2018-12-26
实施日期:2019-08-01
废止日期:-
入库日期:2019-05-30
主编单位:
收藏
- 简介
- 目录
- 强制性条文
GB51343-2018
1
1 总则
11
2 术语
12
3 基本规定
13
4 生产线工艺设计
15
4.1 工艺流程
15
4.2 设备配置
16
4.3 工艺布局
18
5 配套设施要求
20
5.1 表面处理工艺
20
5.2 装配、焊接工艺
21
5.3 排气工艺
22
5.4 老炼及测试工艺
22
6 设备安装
24
6.1 安装条件
24
6.2 设备开箱
24
6.3 设备搬运
25
6.4 设备安装
25
6.5 二次配管配线
30
7 设备调试与试运行
32
7.1 一般规定
32
7.2 清洗、镀覆设备调试与试运行
32
7.3 装配、焊接和排气设备调试与试运行
34
7.4 老炼设备调试与试运行
37
7.5 测试设备调试与试运行
38
7.6 自动化生产线联线调试与试运行
40
8 工程验收
42
8.1 一般规定
42
8.2 交接验收
42
8.3 竣工验收
43
8.4 验收不合格的处置
43
附录A 真空电子器件生产线设备安装工程施工工艺条件
44
附录B 真空电子器件生产线设备安装工程质量验收记录用表
47
本标准用词说明
55
引用标准名录
56
附: 条文说明
57
1 总则
60
3 基本规定
61
4 生产线工艺设计
63
4.1 工艺流程
63
5 配套设施要求
65
5.1 表面处理工艺
65
5.2 装配、焊接工艺
65
5.3 排气工艺
65
5.4 老炼及测试工艺
66
6 设备安装
67
6.4 设备安装
67
6.5 二次配管配线
67
5.1.4 表面处理工艺使用腐蚀性化学品区域应设置紧急冲身洗眼器。
5.2.5 用氢场所应设置机械通风装置和事故排风装置; 应设置气体泄漏报警装置,并与事故排风装置联锁。
5.4.3 高压老炼和测试场所应设置紧急制动装置和门机联锁装置。
图书评论
暂无相关数据
我也要评论