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GB/T14141-2009：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法现行

资源类型：国家标准
发布日期：2009-03-19
实施日期：2010-06-01
废止日期：-
入库日期：2017-03-29
主编单位：宁波立立电子股份有限公司 信息产业部专用材料质量监督检验中心 南京国盛电子有限公司
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