GB/T26068-2010:硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法废止
资源类型:国家标准
发布日期:2011-01-10
实施日期:2011-10-01
废止日期:-
入库日期:2017-03-14
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- 简介
- 目录
GB/T 26068-2010
1
前言
3
1 范围
4
2 规范性引用文件
4
3 术语和定义
4
4 检测方法概述
5
5 干扰因素
6
6 设备
7
7 试剂
8
8 取样及样片制备
8
9 测试步骤
10
10 报告
11
11 精密度和偏差
11
附录A(规范性附录)注入水平的修正
12
附录B(资料性附录)注入水平的相关探讨
13
附录C(资料性附录)载流子复合寿命与温度的关系
16
附录D(资料性附录)少数载流子复合寿命
19
附录E(资料性附录)测试方法目的和精密度
22
参考文献
23
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