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GB/T41325-2022:集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片现行

资源类型:国家标准
发布日期:2022-03-09
实施日期:2022-10-01
废止日期:-
入库日期:2022-04-02
主编单位:有研半导体硅材料股份公司 山东有研半导体材料有限公司 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 南京国盛电子有限公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司 浙江金瑞泓科技股份有限公司 中环领先半导体材料有限公司 浙江海纳半导体有限公司
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