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微信扫一扫- 简介
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T/CECS849-2021
1
1 总则
11
2 术语
12
3 基本规定
14
4 规划选址
16
5 工艺设计
18
5.1 实验室分类
18
5.2 实验室受控环境
20
5.3 实验室布局
20
6 工程设计
22
6.1 建筑设计
22
6.2 结构及防微振设计
23
6.3 公用系统设计
24
6.4 实验室辅助设计
26
7 施工与调试
28
7.1 一般规定
28
7.2 施工
28
7.3 调试
29
8 检验与验收
31
8.1 工程检验
31
8.2 工程验收
37
附录A 几何量测量实验室受控环境
39
附录B 几何量测量实验室综合性能检验方法
43
附录C 几何量测量实验室工程验收检查项目
49
本规程用词说明
58
引用标准名录
59
附：条文说明
61
1 总则
63
2 术语
64
3 基本规定
65
4 规划选址
66
5 工艺设计
67
5.1 实验室分类
67
5.2 实验室受控环境
67
5.3 实验室布局
68
6 工程设计
70
6.1 建筑设计
70
6.2 结构及防微振设计
71
6.3 公用系统设计
73
6.4 实验室辅助设计
75
8 检验与验收
78
8.1 工程检验
78
8.2 工程验收
80
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