GB/T32996-2016:表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜现行
资源类型:国家标准
发布日期:2016-10-13
实施日期:2017-09-01
废止日期:-
入库日期:2021-09-15
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- 简介
- 目录
GB/T32996-2016
1
1 范围
4
2 规范性引用文件
4
3 原理
4
4 仪器
4
5 调节辉光放电谱仪系统设置
6
6 样品处理
9
7 建立工作曲线
10
8 测试样品的分析
14
9 分析结果的表示
15
10 精密度
16
11 实验报告
16
附录A (规范性附录) 工作曲线常数的计算和深度剖析的定量评价
17
附录B (资料性附录) 测定元素的建议谱线
25
附录C (资料性附录) 氧化物密度和相关量ρ_0的实例
27
附录D (资料性附录) 金属氧化物膜实验室间试验报告
28
参考文献
33
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