YS/T679-2018:非本征半导体中少数载流子扩散长度的测试表面光电压法现行
资源类型:行业标准
发布日期:2018-10-22
实施日期:2019-04-01
废止日期:-
入库日期:2021-08-27
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- 简介
- 目录
YS/T679-2018
1
1 范围
4
2 规范性引用文件
4
3 术语和定义
4
4 方法原理
5
5 干扰因素
6
6 试剂
7
7 设备
7
8 样品
11
9 校准
11
10 测试步骤及计算
11
11 精密度
19
12 试验报告
19
附录A(规范性附录) 铁含量的测定
20
附录B(资料性附录) SEMIMF391-0310中关于精密度和偏差的描述
24
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