GB/T40110-2021:表面化学分析全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染现行
资源类型:国家标准
发布日期:2021-05-21
实施日期:2021-12-01
废止日期:-
入库日期:2021-08-18
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- 简介
- 目录
GB/T40110-2021
1
1 范围
5
2 规范性引用文件
5
3 术语和定义
5
4 缩略语
6
5 原理
6
6 仪器设备
6
7 试样制备及其测量环境
6
8 校准参考物质
7
9 安全性
7
10 测量程序
7
11 结果表达
8
12 精密度
9
13 测试报告
9
附录A(资料性) 参考物质
10
附录B(资料性) 相对灵敏度因子
11
附录C(资料性) 参考物质制备
14
附录D(资料性) VPD-TXRF法
17
附录E(资料性) 掠射角设置
18
附录F(资料性) 国际实验室间试验结果
21
参考文献
24
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