GB/T26068-2018:硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法现行
资源类型:国家标准
发布日期:2018-12-28
实施日期:2019-11-01
废止日期:-
入库日期:2019-04-26
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- 简介
- 目录
GBT26068-2018
1
1 范围
5
2 规范性引用文件
5
3 术语和定义
5
4 方法原理
6
5 干扰因素
6
6 仪器设备
8
7 试剂
10
8 样品
10
9 测试步骤
11
10 精密度
13
11 试验报告
13
附录A(资料性附录) 注入水平的修正
14
附录B(资料性附录) 注入水平的相关探讨
15
附录C(资料性附录) 载流子复合寿命与温度的关系
18
附录D(资料性附录) 少数载流子复合寿命
21
附录E(资料性附录) 测试体复合寿命、少数载流子寿命和铁含量的进一步说明
23
附录F(资料性附录) SEMIMF1535-1015中的测试方法目的和精密度
27
参考文献
28
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