GB51136-2015
1 总则
2 术语
3 基本规定
4 工艺
4.1 一般规定
4.2 基本工序
4.3 工艺区划
4.4 设备配置
5 厂址选择及总体规划
5.1 厂址选择
5.2 总体规划
6 建筑
6.1 一般规定
6.2 防火及安全疏散
7 结构
7.1 一般规定
7.2 厂房结构设计
7.3 微振动控制标准
7.4 微振动控制设计及测试
7.5 基座平台设计
8 气体动力
8.1 冷、热源
8.2 大宗气体供应
8.3 特种气体供应
8.4 压缩空气供应
8.5 工艺真空和清扫真空
9 供暖、通风、空气调节与净化
9.1 一般规定
9.2 采暖、通风与废气处理
9.3 空气调节与净化
9.4 防排烟
10 给水排水
10.1 一般规定
10.2 一般给水排水
10.3 纯水
10.4 工艺冷却循环水
10.5 废水
10.6 消防给水及灭火设施
11 电气
11.1 供配电与照明
11.2 防雷与接地
11.3 火灾报警及消防联动
11.4 通信及自控
12 防静电
12.1 一般规定
12.2 防静电措施
12.3 防静电接地
13 化学品
13.1 一般规定
13.2 化学品储存和配送
13.3 管材、阀门
13.4 化学品废液收集团收
14 空间管理
14.1 一般规定
14.2 管线布置
14.3 共用管道支、吊架
附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
附录B 微振动标准VC曲线
本规范用词说明
引用标准名录
附: 条文说明