GB50073-2013(1)
1总则(11)
2术语(13)
3空气洁净度等级(17)
4总体设计(19)
4.1洁净厂房委会选择和总平面布置(19)
4.2工艺平面布置和设计综合协调(19)
4.3人员净化和物料净化(20)
4.4噪声控制(22)
4.5维振控制(23)
5建筑(25)
5.1一般规定(25)
5.2防火和疏散(25)
5.3室内装修(27)
6空气净化(29)
6.1一般规定(29)
6.2洁净室压差控制(30)
6.3气流流型和送风量(30)
6.4空气净化处理(31)
6.5采暖通风、防排烟(32)
6.6风管和附件(33)
7给水排水(35)
7.1一般规定(35)
7.2给水(35)
7.3排水(36)
7.4消防给水和灭火设备(36)
8工业管道(38)
8.1一般规定(38)
8.2管道材料和阀门(39)
8.3管道连接(39)
8.4安全技术(40)
9电气(42)
9.1配电(42)
9.2照明(42)
9.3通信(43)
9.4自动控制(44)
9.5静电防护及接地(44)
附录A洁净室或洁净区性能测试和认证(46)
附录B洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例(52)
附录C净化空调系统设计对维护管理的要求(53)
本规范用词说明(54)
引用标准名录(55)
附:条文说明(57)
1总则(60)
3空气洁净度等级(61)
4总体设计(62)
4.1洁净厂房委会选择和总平面布置(62)
4.2工艺平面布置和设计综合协调(65)
4.3人员净化和物料净化(66)
4.4噪声控制(70)
4.5维振控制(74)
5建筑(76)
5.1一般规定(76)
5.2防火和疏散(76)
5.3室内装修(80)
6空气净化(82)
6.1一般规定(82)
6.2洁净室压差控制(83)
6.3气流流型和送风量(86)
6.4空气净化处理(88)
6.5采暖通风、防排烟(90)
6.6风管和附件(91)
7给水排水(93)
7.1一般规定(93)
7.2给水(94)
7.3排水(95)
7.4消防给水和灭火设备(96)
8工业管道(99)
8.1一般规定(99)
8.2管道材料和阀门(102)
8.3管道连接(103)
8.4安全技术(105)
9电气(107)
9.1配电(107)
9.2照明(109)
9.3通信(112)
9.4自动控制(113)
9.5静电防护及接地(114)
附录A洁净室或洁净区性能测试和认证(116)