• 第一章 总则
  • 第二章 建设规模与项目构成
  • 第三章 工艺与装备
  • 第四章 配套工程
  • 第五章 环境保护与安全卫生
  • 第六章 建筑与建设用地
  • 第七章 主要技术经济指标
  • 附加说明
  • 附件 集成电路生产厂建设标准条文说明
  • 第一章 总则
  • 第二章 建设规模与项目构成
  • 第三章 工艺与装备
  • 第四章 配套工程
  • 第五章 环境保护与安全卫生
  • 第六章 建筑与建设用地
  • 第七章 主要技术经济指标