GB-T34172-2017
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 试验参数
4.1 试样要求
4.2 扫描电镜参数设定
4.2.1 EBSD设备
4.2.2 加速电压
4.2.3 束流
4.3 EBSD参数设定
4.3.1 EBSD系统的校准
4.3.2 曝光时间
4.3.3 步长选择
4.3.4 EBSD花样像素的选择
4.3.5 EBSP背底校正
4.3.6 菊池带探测
5 分析过程
5.1 图像采集
5.2 定性分析
5.2.1 元素化学成分分析
5.2.2 花样采集及分析
5.2.3 花样匹配
5.3 定量分析
5.3.1 相选择
5.3.2 参数选择
5.3.3 相分布图采集
5.3.4 相分布图的后处理
6 结果发布
附录A(规范性附录)EBSD试样的制备
参考文献