GB51401-2019
1 总则
2 术语
3 基本规定
4 工艺及工艺设备
4.1 一般规定
4.2 污染物控制
4.3 应急设施
5 碱性废气系统
5.1 一般规定
5.2 处理流程和方法
5.3 处理设备
5.4 风管及附件
6 酸性废气系统
6.1 一般规定
6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
7 挥发性有机物废气系统
7.1 一般规定
7.2 废气收集、排风管道系统
7.3 处理系统
7.4 处理设备
7.5 自动控制及安全措施
8 特种废气系统
8.1 一般规定
8.2 烷类尾气处理系统
8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
8.4 其他特种尾气处理系统
8.5 中央废气处理系统
9 除尘系统
9.1 一般规定
9.2 系统设计、处理流程及方法
9.3 处理设备
9.4 风管及附件
10 电子玻璃窑炉废气系统
10.1 一般规定
10.2 系统设计、处理流程及方法
10.3 处理设备
10.4 风管及附件
11 事故通风
11.1 一般规定
11.2 系统设计及有害气体净化
12 电气设计
12.1 供配电与照明
12.2 防雷与接地
附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度（IDLH）
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明
1 总则
3 基本规定
4 工艺及工艺设备
4.1 一般规定
4.2 污染物控制
4.3 应急设施
5 碱性废气系统
5.1 一般规定
5.2 处理流程和方法
5.3 处理设备
5.4 风管及附件
6 酸性废气系统
6.1 一般规定
6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
7 挥发性有机物废气系统
7.1 一般规定
7.2 废气收集、排风管道系统
7.3 处理系统
7.4 处理设备
7.5 自动控制及安全措施
8 特种废气系统
8.1 一般规定
8.2 烷类尾气处理系统
8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
8.4 其他特种尾气处理系统
8.5 中央废气处理系统
9 除尘系统
9.1 一般规定
9.2 系统设计、处理流程及方法
9.3 处理设备
9.4 风管及附件
10 电子玻璃窑炉废气系统
10.1 一般规定
10.2 系统设计、处理流程及方法
10.3 处理设备
10.4 风管及附件
11 事故通风
11.1 一般规定
11.2 系统设计及有害气体净化
12 电气设计
12.1 供配电与照明
12.2 防雷与接地
